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中微MOCVD（A7）設(shè)備過濾器濾芯

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產(chǎn)品類別：MOCVD設(shè)備尾氣濾芯

產(chǎn)品說明：中微MOCVD（A7）設(shè)備過濾器濾芯中微利用分子篩的吸附原理的化學(xué)反應(yīng)器，在國內(nèi)率先開發(fā)制造了工業(yè)用大型VOC凈化設(shè)備。

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中微MOCVD（A7）設(shè)備過濾器濾芯

中微利用分子篩的吸附原理的化學(xué)反應(yīng)器，在國內(nèi)率先開發(fā)制造了工業(yè)用大型VOC凈化設(shè)備。設(shè)備采用機(jī)電一體化、半導(dǎo)體等級的人機(jī)防護(hù)，具有新穎的在線濃度監(jiān)測功能，能遠(yuǎn)程實時管理和智能控制，并可根據(jù)客戶的要求靈活配置不同處理規(guī)模的系統(tǒng)，提供給客戶可靠、穩(wěn)定、安全和節(jié)能的VOC解決方案。目前，中微的VOC凈化設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國內(nèi)平板顯示行業(yè)生產(chǎn)線，以改善潔凈室的工作環(huán)境。