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MOCVD設(shè)備PRISMO HiT3過濾器濾芯

該設(shè)備是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備，反應(yīng)腔高溫度可達(dá)1400度，具有優(yōu)異的工藝重復(fù)性、均勻性和低缺陷率。該設(shè)備同時(shí)也為高產(chǎn)量而設(shè)計(jì)，單爐可生長18片2英寸外延晶片，并可延伸到生長4英寸晶片。 中微公司Prismo HiT3 MOCVD設(shè)備早期的客戶包括國內(nèi)的深紫外LED制造商馬鞍山杰生半導(dǎo)體有限公司，該公司的深紫外LED在家用、醫(yī)療和科研設(shè)備等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。 深紫外光幾十年前就被應(yīng)用于工業(yè)和民用消毒殺菌領(lǐng)域。它通過破壞細(xì)菌和病毒的DNA使其喪失繁殖能力來發(fā)揮作用。深紫外LED被用于不同波長的殺菌燈中，且與傳統(tǒng)的汞燈相比對環(huán)境無污染。類似SARS、MERS和新冠病毒的出現(xiàn)使得深紫外LED產(chǎn)品的需求激增，深紫外LED產(chǎn)品可以消滅這些新生微生物。波長260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前該領(lǐng)域先進(jìn)的技術(shù)解決方案（例如杰生半導(dǎo)體的深紫外LED產(chǎn)品）。 中微公司設(shè)計(jì)的Prismo HiT3MOCVD設(shè)備具有新穎的腔體設(shè)計(jì)，能在高溫環(huán)境下生長高質(zhì)量氮化鋁工藝，同時(shí)具備較長的平均免開腔維護(hù)間隔時(shí)間，進(jìn)一步延長正常運(yùn)行時(shí)間并提高產(chǎn)能。真空自動(dòng)化傳輸系統(tǒng)可以抑制顆粒物的產(chǎn)生，并減少缺陷。自動(dòng)化升降機(jī)構(gòu)可方便維護(hù)操作并有效節(jié)省維護(hù)時(shí)間。 “我們現(xiàn)在已經(jīng)看到了深紫外LED帶來的切實(shí)好處，它已成為消滅有害病原體的重要工具?！苯苌雽?dǎo)體有限公司董事長康健說道，“隨著深紫外LED技術(shù)的持續(xù)發(fā)展，我們?yōu)槟軌蛟诠埠图彝ハ井a(chǎn)品領(lǐng)域處于地位而感到自豪。中微公司設(shè)計(jì)的Prismo HiT3 MOCVD設(shè)備可以滿足深紫外LED大批量、低生產(chǎn)成本的制造需求。